目前國內(nèi)外爪式無油真空泵的性能可以做以下的評估：
　　
　　1.無任何摩擦，轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)懸浮。泵腔內(nèi)無任何潤滑油，因而無返油現(xiàn)象發(fā)生，并可實現(xiàn)高速運轉(zhuǎn)，一般為3000r/min.
　　
　　2.可以獨立工作，可在105pa壓力下啟動。也可以和羅茨真空泵及分子泵組成無油機組使用。
　　
　　3.包括春溶劑氣體，多級自動氣鎮(zhèn)使爪式真空泵能抽100﹪的可疑性氣體。且能回收重復使用。
　　
　　4.如F2.FH.HCL.CL2.H2SO4.HNO3等，能抽除腐蝕性氣體。能抽出含有少量塵埃的氣體。
　　
　　5.使用壓縮比達到10105能作氣體傳輸泵用。
　　
　　6.功能可進一步擴展。泵的主題有齒輪，爪式無油真空泵的樣式多樣。電機和氣體凈化設備。配套件在入口處配有防返流的閥門，入口處配有截流閥，電器監(jiān)控及報警裝置。
　　
　　7.將泵通以凈化氣體。這些閥均可自動開關(guān)，入口防返流閥能將被抽容器與泵腔隔斷。入口處配有截流閥能將泵的入口封閉起來。用于對真空系統(tǒng)進行可靠的維護，防止向真空室的返流。多級泵從第二，三，四級起均有凈化氣體入口，以改善被抽介質(zhì)順利通過泵腔。若無此需要，可以不通入凈化氣體。凈化氣體用三個相互獨立的流量計和電磁閥分別進行流量調(diào)節(jié)，用以節(jié)約惰性氣體。
　　
　　8.遠距離操作和開關(guān)閥等。當泵呈現(xiàn)故障時，電氣監(jiān)控設備主要有電源。泵能自動停車，返流閥和截流閥一起關(guān)閉或僅有截流罰關(guān)閉。動力和遙控臺有變壓器和整流器，用以提供所需的電流電壓，以滿足監(jiān)控過程的需要。
　　
　　外爪式無油真空泵能獨立直接工作，又能同螺桿泵形成機組，同羅茨泵形成機組，同分子泵形成機組，以求更大的抽速與較高的真空度。
　　
　　外爪式無油真空泵可以任意組合形成單級泵，雙極泵，多級泵以適應不同的真空度的要求